產(chǎn)品中心

EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測量和鍵合對準(zhǔn)測量的設(shè)備，具有級高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗(yàn)證工具
EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備，可針對壓印、光刻、對準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換
單面/雙面光刻系統(tǒng)
測試與輔助工藝設(shè)備
布魯克QUANTAX WDS---布魯克電子顯微鏡分析儀高精度儀器,用于低能端的超敏感、高能量分辨的X射線微束分析。
電子顯微鏡分析儀QUANTAX Micro-XRF---幾乎無需樣品制備,但具有極高的元素靈敏度
X射線的最高檢測效率
電子顯微鏡分析儀TEM QUANTAX EDS用于STEM, TEM和TSEM的EDS
電子顯微鏡分析儀SEM QUANTAX EDS---您SEM, FIB和EPMA上最先進(jìn)的EDS